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第143章 光刻机的研发（第1页）

柳吟霜随刘凛下到15楼的研究室。

研究室里研究员正有条不紊地做着事情，柳吟霜走到负责测试的研究员身旁。

“柳董，刘总”研究员紧张的咽了咽唾沫，不知道自己做错了什么。

“不要紧张，这里的数据，还是这块的数据有点问题，需要重新测试一下。”柳吟霜手里拿着测试报告，指了指。

“好的，好的，柳董。”

为了不给大家增添压力，柳吟霜讲完事情就离开了。

柳吟霜回到32楼的办公室，站在落地窗前，看着城市纵横交错的街巷，心里不由想感慨一下，京城不愧是人才云集的地方，她才来没几天集团的基本框架就已经架起来了。

她最近在找合适的实验室，是时候研发光刻机了。

现在国内引入的是DUV光刻机，叫做深紫外线光刻机，主要用于制作10-130nm芯片的制作。

而柳吟霜想要研究的是EUV，叫做极紫外线光刻机。

它以波长为10－14nm的极紫外光作为光源的雕刻技术。

整个光刻过程就是二氧化碳激光器对着极小的锡球发射激光，从而产生极紫光。

然后再用一些特殊的镜子把这些极紫外光收集起来，再投射到硅片上，这样一来，就能在硅片上精确地刻画出芯片。

这项技术最大难点就是如何产生极紫外光，如何收集产生出来的极紫外光。

柳吟霜沉思了一会儿。

“统子，我最近收购了这么多家公司，积分应该有很多吧？”

柳吟霜收购的公司，大部分是能生产光刻机辅料的厂家。